攻克Micro LED巨量檢測(cè)難題 海目星攜手福州大學(xué)引領(lǐng)半導(dǎo)體顯示向前發(fā)展
- 探針式電致發(fā)光檢測(cè)（EL）檢測(cè)準(zhǔn)確度高，但效率極低，還會(huì)對(duì)芯片造成一定程度的損傷，幾乎不具備全檢可能性。
- AOI外觀缺陷檢測(cè)，只能對(duì)外觀缺陷進(jìn)行檢測(cè)，無(wú)法對(duì)芯片表面以下的發(fā)光層、正極、負(fù)極等進(jìn)行檢測(cè)，可識(shí)別缺陷類(lèi)型有限。
- 光致發(fā)光檢測(cè)（PL）使用短波長(zhǎng)激發(fā)LED的發(fā)光層產(chǎn)生發(fā)光圖像，具有非接觸式、速度快等優(yōu)點(diǎn)。但只能對(duì)發(fā)光層缺陷進(jìn)行檢測(cè)，無(wú)法對(duì)芯片的正負(fù)電極進(jìn)行驅(qū)動(dòng)測(cè)試，檢測(cè)準(zhǔn)確率無(wú)法滿足高良率的生產(chǎn)需求。
2024年，海目星攜手福州大學(xué)吳朝興教授團(tuán)隊(duì)，開(kāi)展復(fù)雜電磁環(huán)境中的“機(jī)械-電氣-發(fā)光-采集”功能模組的設(shè)計(jì)與整合，以及控制與光電采集信號(hào)的同步，成功研制晶圓級(jí)Micro LED芯片的非接觸電致發(fā)光檢測(cè)工程樣機(jī)FED-NCEL，突破產(chǎn)業(yè)化“最后一公里”。
紅光COC氮化鎵Micro LED芯片檢測(cè)
紅、綠、藍(lán)COW氮化鎵Micro LED芯片檢測(cè)
Micro LED作為下一代顯示的核心技術(shù)方向，其技術(shù)革新和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展將重構(gòu)顯示產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局，強(qiáng)化中國(guó)技術(shù)話語(yǔ)權(quán)。海目星身為新型顯示產(chǎn)業(yè)鏈上的領(lǐng)先企業(yè)，憑借卓越的實(shí)力和前瞻性的戰(zhàn)略眼光，不斷在全球賽道中搶占技術(shù)高地，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)。
2024年7月，海目星與福州大學(xué)合資成立深圳海納半導(dǎo)體裝備有限公司，聚焦各類(lèi)新型顯示及第三代半導(dǎo)體檢量測(cè)設(shè)備，為提升行業(yè)良率提供高速高精的解決方案，為業(yè)內(nèi)客戶降本增效與規(guī)模化生產(chǎn)提供強(qiáng)大技術(shù)支撐。
今年4月，海目星與閩都創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室正式成立“半導(dǎo)體檢量測(cè)裝備研發(fā)中心”。閩都創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室是首批四家福建省創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室之一，在光電信息領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化領(lǐng)域有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。雙方的合作將進(jìn)一步深化產(chǎn)學(xué)研融合，賦能半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。
